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平台概述
上海芯片分析公共服务平台
承建单位: 上海圣景科技发展有限公司

上海芯片分析公共服务平台依托于上海圣景科技发展有限公司。由上海市科学技术委员会研发公共服务平台与上海圣景科技发展有限公司共同投资建立了“芯片分析技术服务”子平台,以进一步促进集成电路产业的科技创新。   芯片分析技术服务平台依据“共同投入,企业运作,公共服务,自我发展”的原则,以独立的法人实体,按照企业方式运作。平台的收入,除了设备维护、平台运营、技术授权费等必要的支出,全部用于自身积累。平台在政府扶持下建立起来以后,通过自我积累来实现滚动发展和逐步扩大,为集成电路产业提供更全面的服务。

技术条件
现有技术

分析线宽:65nm 分析层数:>10层 分析工艺:铝制程、铜制程;CMOS、Bipolar、BiCMOS、GaAs、SiGe 分析类型:模拟电路、数字电路、存储器 分析能力:平面去层、截面、TEM切片、斜角

发展领域

芯片解剖及显微摄像、FIB电路修改、ESD测试、芯片结构及材料分析

提供服务
服务范围

芯片处理 芯片去封装:包括普通塑料封装、陶瓷封装和BGA 芯片去层:包括去金属层和介质层以及Flip-chip的顶层 SEM样片制备:包括定点和非定点样品制备研磨 TEM样片制备:包括切片、斜角 显微摄像与拼接 X射线检测:非破坏性地观察连接关系等 光学显微镜:分辨率0.25um,可穿透半导体介质,观测下层结构,彩色图像 紫外显微镜:分辨率0.13~0.25um,可穿透半导体介质,灰度图像 扫描电子显微镜:极限分辨率1nm,常用分辨率10nm,主要观察表面图像,可穿透0.2um的介质,灰度图像 原子力显微镜:分辨率1nm,观察表面形貌,灰度图像

收费标准

联系方式
联系地址: 海市国定路335号 邮编: 200433
联系电话: 021-65640063 传真:
电子邮箱: 网址: http://cs.sgst.cn/zypt/xinsuo/xinsuo.html
 
 

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